圖片詳情
600口徑激光平面相移干涉儀
主要技術參數
1. 端口1最大測量口徑:Ф120mm
2. 端口2最大測量口徑:Ф600mm
3. 測量方式:菲索干涉原理,中心波長λ=632.8nm;
4. 標準參照鏡面形精度:PV:λ/12;
5. 系統精度,空腔PV優于53nm;
6. PV重復性優于λ/100,RMS重復性優于λ/1000;
7. 連續變焦倍數:3 倍;
8. 光源:半導體調諧激光器(632.8nm);
9. 最佳工作溫度:20℃-25℃;


優勢
1.該設備采用雙端口測量設計;可以根據被測元件的大小選擇測量端口。滿足寬范圍測量的要求。
2.采用先進波長調諧相移專利技術;實現高精度的相移控制。有效保證了測量精度。
3.標準參照鏡采用國外一流的高標準、大口徑融石英材料,標準鏡精度全口徑達到λ/12以上。
4.標準參照鏡面形精度:PV:λ/12;
5.系統精度,空腔PV優于53nm;
6.PV重復性優于λ/100,RMS重復性優于λ/1000;


應用領域
產品主要應用于大口徑高精度光學元件的高精度測量。廣泛應用于航天、航空、天文觀測等中關鍵光學元器件的高精度測量。
腳注信息
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