納米級雙面拋光機控制系統設計
作者:管理員    發布于:2011-11-27 07:56:40    文字:【】【】【
摘要:設計了納米級雙面拋光機的控制系統,對其實現方法進行了研究,分析了控制系統的組成,提出并建立了基于微機統一控制系統的解決方案。采用Windows CE軟件平臺,圖形化界面功能指示、高可靠性的實時操作系統、高精度光柵傳感器、壓力傳感器、數字閥組成電氣聯合控制系統,應用新型電氣直接數字控制技術實現該機的自動加工。
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