大口徑平面光學元件超精密加工技術的研究
作者:管理員    發布于:2011-11-25 14:41:04    文字:【】【】【
摘要:為了解決激光核聚變裝置中大口徑平面光學元件的批量制造難題,將先進制造技術和傳統拋光技術相結合,提出了一種新的工藝方法,即使用ELID(在線電解)磨削代替傳統的銑磨和初拋工序,以提高生產效率。利用數控拋光將工件拋光至最終的面形精度,以提高生產效率和減少邊緣效應。將連續拋光作為最終加工工序,使加工工件的表面粗糙度和波紋度達到工程要求。實驗證明這一新的工藝方法是可行的。
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